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更新時間：2025-12-27 
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日本osakavacuum大阪真空 干式真空泵FR060D
FR060D
啟用大氣壓作。
大氣壓量為800升/分鐘。
-啟用水蒸氣傳遞。
蒸汽耐受度為500克/小時。
-縮短蒸發時間。
容量流量800升/分鐘，壓力范圍寬，達到極限壓力。
——風冷。
應用
- 小型實驗室系統
- 載鎖和轉選室
- 分析裝置
- 真空夾頭
- 加速排氣
- 封裝、密封
- 離子源、EB槍
- 干燥
- 濺射沉積
- 小型爐子
- TMP備份真空泵
| 模型 | FR060D | ||
| 體積流量（L/min） | *大值 | 1000 | |
| 常數 | 800 | ||
| 基壓（Pa） | 無氣體壓載 | 1.0 | |
| 配氣壓載 | 2.0 | ||
| 連接 | 入海口 | KF（NW）40 | |
| 出口 | KF（NW）40 | ||
| *大蒸氣耐受度※1（g/hr） | 500 | ||
| 潤滑油量（毫升） | 90 | ||
| 功耗（千瓦） | 基壓下 | 1.1 | |
| *大值 | 1.3 | ||
| 電源 | 電壓（V） | 200-240 | |
| 頻率（Hz） | 50/60 | ||
| 階段 | 單曲 / 三 | ||
| 可容忍電壓波動※2 | ±10% | ||
| 功率容量（kVA） | 3.0 | ||
| 電流（A） | 單相 | 11.1 | |
| 三相 | 6.5 | ||
| 冷卻系統 | 風冷 | ||
| 體重（公斤） | 75 | ||
| 環境溫度（°C） | 5-40 | ||
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